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電子級超純水與普通超純水的區(qū)別

更新時間:2024-09-05        閱讀:1046

電子級超純水與普通超純水的區(qū)別

項目

電子級超純水

普通超純水

應(yīng)用領(lǐng)域

電子行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)

實驗室分析、工業(yè)生產(chǎn)或工業(yè)清洗

滿足國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T11446.1-2013電子級水國家標(biāo)準(zhǔn)

GBT6682-2008分析實驗室用水國家標(biāo)準(zhǔn)和GBT33087-2016儀器分析用高純水規(guī)格及試驗方法

電子級EW-I和超純水I級

電阻率≥18MΩ.cm(5%的時間不低于17)

電阻率≥10MΩ.cm

電子級EW-II和超純水II級

電阻率≥15MΩ.cm(5%的時間不低于13)

電阻率1-10MΩ.cm之間

全硅(ug/L)

電子級I級≤2ppb   電子級I級≤10ppb

I級≤10ppb  II級≤20ppb

微顆粒(個/L)

電子級I級:對各種粒徑具有要求,如?0.2-0.3μm≤50個/L,?0.3-0.5μm≤20個/L,?0.5μm以上≤4個/L

不做具體要求

細菌個數(shù)(個/ml)

電子級I級≤0.01個  電子級II級≤0.1個

視不同用途,不同的要求,符合客戶需求即可

金屬離子含量(ppb)

電子級I級:對(銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛)都有具體的要求,且要求高,需要控制到≤0.1ppb或0.5ppb

超純水I級:只有鈉離子≤1ppb有要求,其他無具體要求

非金屬離子含量(ppb)

電子級I級:對(氟、氯、亞硝酸根、溴、硝酸根、磷酸根、硫酸根)都有具體的要求,需要控制到≤1ppb

超純水I級:僅對氯離子有要求需要控制到≤1ppb

TOC值

電子級I級≤20ppb   電子級I級≤100ppb

超純水I級≤50ppb

說明:綜上所述,電子級超純水I級對微顆粒、TOC值、細菌要求高,因此對電子級超純水設(shè)備的管道要求高一般需要采用CLear-PVC或者PVDF材質(zhì),以及需要配專門的降TOC的消解器

電子級超純水設(shè)備.jpg

卓水越電子級超純水系統(tǒng)

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